Клапан регулирования давления чистого типа серии SRH | Ричге Технолоджи

Бренд:Серия СРЗ от Richge Technology (睿其格科技)

Позиционирование продукта

     Серия SRH — это прецизионные регуляторы давления из нержавеющей стали высокой чистоты, разработанные для сверхчистых, устойчивых к коррозии и низкого уровня загрязнения жидкостей управления. Этот клапан, изготовленный в соответствии со строгими стандартами чистоты Richge, обеспечивает стабильное и точное регулирование давления для чистого воздуха, азота, аргона, углекислого газа и очищенной воды. Он служит стандартным регулирующим компонентом высокой чистоты для полупроводниковых, фотоэлектрических, ЖК- и биофармацевтических производственных линий высокого класса.

Основные функции чистого уровня

     • Детали, контактирующие с рабочей средой, полностью из нержавеющей стали: для всех контактных поверхностей используется материал SUS316/316L, обладающий стойкостью к кислоте и коррозии, нулевым выпадением ионов и отсутствием вторичного загрязнения.

     • Строгое безмасляное производство: производится в чистых помещениях класса 100 и очищается сверхчистой водой с сопротивлением 16 МОм·см, что обеспечивает низкий уровень частиц и остатков.

     • Оптимизированная чистая структура: конструкция с минимальным мертвым объемом и пружинной конструкцией с мембранной изоляцией позволяет избежать внутреннего загрязнения и накопления остатков.

     • Марки с двойной диафрагмой Опционально: диафрагма из ПТФЭ класса А для сверхчистых полупроводниковых сред; Мембрана из FKM класса B для обычных коррозионностойких условий эксплуатации.

     • Версии с двумя функциональными возможностями: доступны типы со сбросом давления и без сброса давления, адаптирующиеся к требованиям по подаче газа высокой чистоты и требованиям управления вакуумной системой.

Технические параметры

     • Тип конструкции: прецизионный регулятор давления прямого действия.

     • Материалы, контактирующие с рабочей средой: SUS316/316L, диафрагма из PTFE/FKM.

     • Применяемая среда: чистый воздух, N₂, Ar, CO₂, чистая вода.

     • Максимальное входное давление: 1,0 МПа.

     • Регулируемый диапазон давления: 0,02–0,2 МПа / 0,05–0,7 МПа.

     • Размер порта: Rc1/8, 1/4, 3/8, 1/2

     • Рабочая температура: 0℃～60℃.

     • Точность управления: гистерезис ≤0,01 МПа; Повторяемость ≤0,005 МПа

     • Стандарты соответствия: RoHS, CE, SEMESCO.

Модельная серия

     • SRH3000: компактный тип, подходит для портов размером 1/8–1/4 дюйма.

     • SRH4000: Средний тип, подходит для портов размером 1/4–1/2 дюйма.

Области применения

     Травление полупроводников и контроль газа в процессе CVD, производство фотоэлектрических устройств и ЖК-дисплеев, биофармацевтические системы стерильного газа и чистой воды, защита пищевых продуктов и электроники инертным газом, лабораторная хроматография и прецизионное вакуумное оборудование.

Основное резюме

     Чистый регулятор давления серии SRH имеет полностью безмасляную структуру SUS316L, низкий уровень частиц и остатков, выбор диафрагмы двойного класса и высокоточный контроль давления. Это стандартный регулирующий клапан сверхчистой жидкости для высокотехнологичных прецизионных производств.